特許

J-GLOBAL ID：200903053346170435

露光装置

発明者： 菅野 正洋
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183433
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015409
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】 本発明の課題は、精度良くレンズの焦点合わせを行うことができ、かつダストの発生による不良品の発生を防止することができる露光装置を提供することにある。【解決手段】 本発明はレンズ15の位置を移動させることによりレンズの焦点合わせを行うレンズ駆動手段22を備えることを特徴とする露光装置である。

請求項（抜粋）：

パターンが形成されたマスクに露光光を出射する光源と、前記マスクを透過した露光光を集束するレンズと、前記レンズで集束された露光光が照射され前記マスクのパターンが露光される基板を載置するステージとを少なくとも備える露光装置において、前記基板の形状に応じて前記レンズの位置を変化させて前記露光光の焦点合わせを行うレンズ駆動手段とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/207

FI (2件)：

H01L 21/30 516 A ,  G03F 7/207 H

Fターム (8件)：

5F046BA04 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046CC01 ,  5F046DA05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DC10