特許

J-GLOBAL ID：200903053346582261

基板の搬送手段および搬送機構ならびに露光装置

発明者： 松田 政昭
出願人/特許権者： 株式会社オーク製作所
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-149554
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340635
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】基板の厚みに係わりなく基板を変形せずに吸着保持でき、また、基板の移動速度を向上させ、かつ、基板の落下を防止することができる搬送手段および搬送機構ならびに露光装置を提供することを課題とする。【解決手段】移動レールおよびハンドラからなる搬送手段において、前記ハンドラ8は、移動レール7に沿って移動する移動躯体6と、この移動躯体に設けられた保持板4と、この保持板に取り付けられた吸着部2とを備え、前記吸着部は、水平下面に形成された溝部2bと、この溝部に取り付けられた当接パット3とを備え、前記当接パットは、軸線方向に沿って間隔を開けて形成した吸引孔3cを有する胴体部3bと、この胴体部に連続して設けられ前記吸引孔の開口が形成される吸引空間3dを有する吸着支持部3aとを備え、前記基板を吸着した際に、前記吸着支持部が、前記水平下面より突出してその基板を支持する搬送手段として構成した。

請求項（抜粋）：

所定パターンを露光して形成する基板を各作業位置に搬送する移動レールおよびハンドラからなる搬送手段において、前記移動レールは、前記各作業位置の上方でそれら各作業位置に亘って配置され、前記ハンドラは、移動レールに沿って移動する移動躯体と、この移動躯体に設けられた保持板と、この保持板に取り付けられた吸着部とを備え、前記吸着部は、水平下面に形成された溝部と、この溝部に取り付けられた当接パットとを備え、前記当接パットは、軸線方向に沿って間隔を開けて形成した吸引孔を有する胴体部と、この胴体部に連続して設けられ、前記吸引孔の開口が形成される吸引空間を有する吸着支持部とを備え、前記基板を吸着した際に、前記吸着支持部が、前記水平下面より突出してその基板を支持することを特徴とする搬送手段。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  G03F 7/20 501

FI (3件)：

H01L 21/68 B ,  B65G 49/06 A ,  G03F 7/20 501

Fターム (18件)：

2H097DB07 ,  2H097DB14 ,  2H097KA03 ,  2H097KA28 ,  2H097LA09 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031CA20 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA04 ,  5F031JA38 ,  5F031MA27