静電容量式変位計

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-086350
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280806
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】対向電極間に形成される静電容量を利用して、その電極間の間隔変化を計測する静電容量式変位計に関し、計測精度および計測範囲の向上を目的とする。【解決手段】計測対象に対向して設定したガードリング付きセンサ電極5を、シールド線7の中心導体7aを介し演算増幅器9の反転入力に接続し、演算増幅器9の出力と前記入力間に基準容量を接続する。また、シールド線の外部導体7bは演算増幅器9の非反転入力に接続するとともに、演算増幅器9および基準容量を静電遮蔽するシールドケース8に接続され、これにより検出回路100を構成する。また検出回路はシールドケースごと回路アースに対しフローティング構造にして、該検出回路をシールドケースごと交流信号で駆動し、更に検出回路の出力が一定となるように前記交流信号の振幅を制御することにより測定容量を定電流駆動するようにしたため、検出感度が高く、また前記交流信号の振幅値と測定変位が比例関係となることから直線性に優れ、精度および計測範囲の向上の要求に応えることができる。

請求項（抜粋）：

対向電極間に形成される静電容量を利用して、その電極間の間隔変化を測定する静電容量式変位計において、計測対象に対向して設定したガードリング付きセンサ電極を、シールド線の中心導体を介し演算増幅器の反転入力に接続し、演算増幅器の出力と前記入力間に基準容量を接続し、前記演算増幅器と基準容量を静電遮蔽するシールドケースで被い、前記演算増幅器の非反転入力をシールドケースに接続し、他端をガードリング電極に接続したシールド線の外部導体をシールドケースに接続して検出回路を構成し、該検出回路をシールドケースごと回路アースに対しフローティング構造にして、交流信号で駆動し、前記演算増幅器の出力と前記交流信号の差電圧が一定となるように前記交流信号の振幅を制御して、測定容量を定電流駆動することを特徴とする静電容量式変位計。

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