特許
J-GLOBAL ID：200903053353773668
パターン欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-286600
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126754
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】本発明は、パターン欠陥検出の分解能を向上するとともにその処理時間に影響を与えず長くすることがないものとすることである。【構成】所定パターンが複数多層で形成された被検査体の上方の撮像装置(3,4)により検査画像データを得るとともに、この撮像装置からの画像信号を遅延して又は他の撮像装置により参照画像データを得、この検査画像データと参照画像データとを位置ずれ検出回路(15)の検出位置ずれに基づいて位置合わせ回路(11)により位置合わせし、この後に検査回路(16)により検査画像データにおける検査対象の画素データに対応する参照画像データ内の画素データの微分値により定まる方向の微分値と、参照画像データの画素データの周囲に存在する画素データの同一方向の微分値の最大値との差微分値を算出し、この差微分値によりパターン欠陥の有無を判定する。
請求項（抜粋）：
所定パターンが複数多層で形成された被検査体の上方に配置された少なくとも1つの撮像装置と、この撮像装置からの画像信号から検査画像データを得るとともに、この撮像装置からの画像信号を遅延して又は他の前記撮像装置からの画像信号から参照画像データを得る画像作成手段と、この画像作成手段により得られた検査画像データと前記参照画像データとの位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、この位置ずれ検出手段により検出された位置ずれに基づいて前記検査画像データと前記参照画像データとを位置合わせする位置合わせ手段と、この位置合わせ手段による位置合わせ後の前記検査画像データにおける検査対象の画素データに対応する前記参照画像データ内の画素データの微分値により定まる方向の微分値と、前記参照画像データの前記画素データの周囲に存在する画素データの同一方向の微分値の最大値との差微分値を算出し、この差微分値によりパターン欠陥の有無を判定する検査判定手段とを備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/62 405
, G06F 15/70 330
, H01L 21/66
