特許

J-GLOBAL ID：200903053360418504

カラーフィルター基板の製造方法、カラーフィルター基板、液晶装置及び電子機器

発明者： 牛山 敏寛
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-095412
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281435
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】 透明電極の保護膜への密着性を向上し、保護膜上と基板本体上に形成された透明導電膜のエッチング差を低減することを可能にし、配向膜の配向不良を防止することができ、透明電極の耐引っ掻き性を向上することができるカラーフィルター基板の製造方法を提供する。【解決手段】 基板本体11A上にカラーフィルター層15、保護膜16を形成した後、プラズマアッシングを行うことにより、基板本体11A上のレジストの残査の除去行う。次に、低パワーのスパッタリング法により、基板本体11A上に、第一透明導電膜18Aを形成する。次に、イオンプレーティング法により第一透明導電膜18A上に、第二透明導電膜18Bを形成する。最後に、第一透明導電膜18A、第二透明導電膜18Bを所定のパターンに加工することにより透明電極18を形成する。

請求項（抜粋）：

少なくともカラーフィルター層、カラーフィルター層を保護する保護膜、透明導電材料からなる透明電極を具備するカラーフィルター基板の製造方法において、基板本体上に前記カラーフィルター層と前記保護膜と第一透明導電膜とを形成した後、該第一透明導電膜上にイオンプレーティング法により、前記第一透明導電膜とは膜質の異なる第二透明導電膜を形成し、前記第一透明導電膜、前記第二透明導電膜を所定のパターンに加工することにより、前記第一透明導電膜、前記第二透明導電膜の二層構造からなる前記透明電極を形成することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。

IPC (8件)：

G02B 5/20 101 ,  C23C 14/08 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/00 342 ,  G09F 9/30 336 ,  G09F 9/30 349 ,  H01B 13/00 503

FI (8件)：

G02B 5/20 101 ,  C23C 14/08 D ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/00 342 ,  G09F 9/30 336 ,  G09F 9/30 349 B ,  H01B 13/00 503 B

Fターム (88件)：

2H048BA43 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB44 ,  2H091FA04Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FC02 ,  2H091FC03 ,  2H091FC05 ,  2H091FC12 ,  2H091GA03 ,  2H091GA07 ,  2H091LA18 ,  2H091LA30 ,  2H092GA16 ,  2H092GA17 ,  2H092GA25 ,  2H092GA27 ,  2H092GA34 ,  2H092GA42 ,  2H092HA04 ,  2H092JA01 ,  2H092JB16 ,  2H092JB24 ,  2H092JB27 ,  2H092JB33 ,  2H092JB36 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092KB24 ,  2H092MA05 ,  2H092MA06 ,  2H092NA18 ,  2H092PA02 ,  2H092PA08 ,  4K029BA48 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029EA02 ,  4K029EA03 ,  4K029EA05 ,  4K029EA09 ,  4K029FA04 ,  4K029FA07 ,  5C094AA03 ,  5C094AA36 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA13 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094ED03 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10 ,  5C094JA02 ,  5C094JA08 ,  5C094JA20 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05 ,  5G323BB06 ,  5G435AA01 ,  5G435AA03 ,  5G435AA07 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435CC12 ,  5G435EE25 ,  5G435GG12 ,  5G435HH02 ,  5G435HH12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10 ,  5G435LL07 ,  5G435LL08 ,  5G435LL15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-261005
  
• 透明導電膜付き基板および成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-137968   出願人：日本板硝子株式会社
• カラーフィルターの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-224018   出願人：大日本印刷株式会社