特許
J-GLOBAL ID：200903053367902800
ガスクロマトグラフ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-261775
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101176
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 大流量から小流量までその時々の設定流量に対応した精度の良いマスフロ-コントロ-ラを備えたガスクロマトグラフを提供する。【構成】 制御バルブ1aと圧力センサ1bとで構成される圧力レギュレ-タ部1と、並列流路に設置した層流素子2aと差圧センサ2b及びこれら二つの平行な流路の合流点に設置した制御バルブ2cとで構成される差圧コントロ-ル部2と、前記二つのバルブを制御する電気制御部3と、より成るマスフロ-コントロ-ラを備えたことを特徴とするガスクロマトグラフ。
請求項（抜粋）：
ガス流量制御可能なバルブと該バルブ出口での圧力を検出する圧力センサとで構成される圧力レギュレ-タ部と、並列流路のそれぞれに設置した層流素子と差圧センサ及びこれら二つの流路の合流点に設置したガス流量制御可能なバルブとで構成される差圧コントロ-ル部と、前記圧力センサの測定値及び差圧センサの測定値によりそれぞれ二つの前記バルブを制御する電気制御部と、より成るマスフロ-コントロ-ラを備えたことを特徴とするガスクロマトグラフ。
IPC (2件)：
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