特許
J-GLOBAL ID：200903053373202071
自動定寸装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-021097
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202514
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 グラインディング装置やポリッシング装置などのように下定盤に渦電流検出手段で検出することができない研磨層が設けられている装置においても、高精度なワーク厚さ測定を行うことができる自動定寸装置を提供する。【解決手段】 砥石層2aを有した下定盤2と上定盤3との相対回転により、キャリア100に保持されたアルミニウムディスク101を研磨する。この研磨加工中に、上定盤3に取り付けられた渦電流センサ5により、キャリア100側に向いた磁場を形成して、基準アルミニウム板33の上面までの距離L1及びアルミニウムディスク101の上面までの距離L2をそれぞれ検出し、渦電流センサ5からそれらの検出値を示すアナログ電圧信号Aを出力する。そして、このアナログ電圧信号Aに基づいて、距離L1と距離L2との差を算出し、アルミニウムディスク101の厚さを決定する。
請求項（抜粋）：
磁場による渦電流を発生不能な研磨層を有した下定盤とこれに対向する上定盤とにより、上記渦電流を発生可能なワークを保持したキャリアを挟んだ状態で、上記上定盤及び下定盤を回転させることにより、上記ワークを研磨する研磨装置に適用されるワーク厚さ測定用の自動定寸装置であって、上記キャリアに設けられ且つ上記渦電流を発生可能な所定厚さの基準部材と、上記上定盤に取り付けられ且つ上記キャリア側に向いた磁場を形成して上記基準部材及びワークに発生した渦電流を検出することにより、上記基準部材の上面までの距離及び上記ワークの上面までの距離にそれぞれ対応した出力信号を発生する渦電流検出手段と、上記渦電流検出手段の出力信号から、上記基準部材上面までの距離と上記ワーク上面までの距離との差を算出する演算手段と、を具備することを特徴とする自動定寸装置。
IPC (4件)：
B24B 37/04
, B24B 49/10
, G01B 7/06
, G01B 21/00
B24B 37/04 D
, B24B 49/10
, G01B 7/06 Z
, G01B 21/00 A
