特許
J-GLOBAL ID：200903053374375824
チタン酸ストロンチウムターゲットの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166654
公開番号（公開出願番号）：特開平8-027571
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：
【要約】【構成】 平均粒径が0.1〜5.0μmのチタン酸ストロンチウム粉末をプレス成形法や鋳込成形法等により成形した後、焼結することによって焼結密度が4.61g/cm3以上のチタン酸ストロンチウムターゲットを製造する。【効果】 焼結後に組成の部分的な不均一による色むらがなく、製造工程中のクラックの発生が認められず、またスパッタリング中にクラックの発生のない信頼性の高いターゲットが得られる。
請求項（抜粋）：
平均粒径が0.1〜5.0μmのチタン酸ストロンチウム粉末を成形、焼結してなる焼結密度が4.61g/cm3以上のチタン酸ストロンチウムターゲットの製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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