特許
J-GLOBAL ID:200903053377638192

光ファイバアレイと光導波路チップの接合方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 千葉 剛宏 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-079044
公開番号(公開出願番号):特開平11-271561
出願日: 1998年03月26日
公開日(公表日): 1999年10月08日
要約:
【要約】【課題】接合時の紫外線の照射時間を短縮することができ、また、結合損失の劣化や高温高湿下での信頼性試験における劣化の少ない光導波路チップを得ることができる光ファイバアレイと光導波路チップの接合方法を提供する。【解決手段】光導波路チップ14と第1のアレイ16の光軸を合わせ(光軸のずれを0.2μm以下とする。)、両者の間隙の幅Lを約8μmに設定する。間隙に接着用樹脂を充填し、上下2方向より、紫外線照射装置40a、40bを用いて、紫外線の照射強度が150mW/cm2 、照射量が9000mJ/cm2 の照射条件で紫外線を照射する。
請求項(抜粋):
光ファイバアレイと光導波路チップとを光軸を合わせて接合する方法において、前記光ファイバアレイと光導波路チップとの接合面に所定の幅の間隙を設け、該間隙に接着用樹脂を充填し、紫外線を照射することによって該接着用樹脂を硬化して該光ファイバアレイと光導波路チップとを接合するに際し、少なくとも対向する方向を含む2以上の方向から紫外線を照射し、前記2以上の方向から照射する紫外線の照射量の差を600mJ/cm2 以下とすることを特徴とする光ファイバアレイと光導波路チップの接合方法。

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