特許
J-GLOBAL ID：200903053377832339
セラミックダイヤフラム構造体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-227817
公開番号（公開出願番号）：特開平8-130334
出願日： 1995年09月05日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤフラム部が外方に凸なる形状とされたセラミックダイヤフラム構造体を製造するに際して、そのダイヤフラム部の外方への突出量を容易に且つ有利に制御せしめ得る手法を提供し、またそのような突出量を容易に均一化せしめて、特性のバラツキを低減せしめること。【構成】 少なくとも一つの窓部6を有するセラミック基体4と薄肉のセラミックダイヤフラム板8とからなる積層一体焼成物であって、該窓部6において薄肉のダイヤフラム部10が一体に設けられ、且つ該ダイヤフラム部10が前記窓部6とは反対方向となる外方に凸なる形状とされた構造体を製造する際に、該ダイヤフラム部10の凸形状の形成時又は形成後に、かかる凸形状の頂部部分に平坦化治具14或いは凹面治具を当接せしめて、該凸形状の頂部部分に若しくはそれを含む部分に平坦部10a或いは所定の曲率半径の曲面部を形成することにより、該凸形状の突出量を制御するようにした。
請求項（抜粋）：
少なくとも一つの窓部を有するセラミック基体と、該窓部を覆蓋するように積層された、薄肉のセラミックダイヤフラム板とからなる一体焼成物であって、該窓部において薄肉のダイヤフラム部が一体に設けられ、且つ該ダイヤフラム部が前記窓部とは反対方向となる外方に凸なる形状とされた構造体を製造するに際して、該ダイヤフラム部の凸形状の形成時に若しくは形成の後に、かかる凸形状の頂部部分に平坦化治具或いは凹面治具を当接せしめて、該凸形状の頂部部分に若しくはそれを含む部分に平坦部或いは所定の曲率半径の凸面部を形成することにより、該凸形状の突出量を制御するようにしたことを特徴とするセラミックダイヤフラム構造体の製造方法。
IPC (5件)：
H01L 41/08
, C04B 37/00
, H01L 29/84
, H01L 41/09
, H01L 41/22
H01L 41/08 Z
, H01L 41/08 J
, H01L 41/22 Z
