特許
J-GLOBAL ID：200903053384745026
露光装置及び基板の間隔設定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-157290
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326363
出願日： 1992年05月26日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 プロキシミティ方式の露光装置のギャップ設定時間を短縮する。【構成】 複数の基板1の板厚を測定し、1枚目の基板に対する他の基板の板厚の差を求める。1枚目の基板はエアマイクロ15によってマスク16との間隔を測定し、平行調整テーブル13と基板移動ステージ14とを駆動して所定のギャップに位置決めする。他の基板は、1枚目の基板を位置決めした位置に対して板厚の差をオフセットとして補正を加え、平行調整テーブル13と基板移動ステージ14とを駆動して位置決めする。
請求項（抜粋）：
複数の基板の夫々を搬送する搬送部と、該搬送部によって搬送された前記基板の夫々を載置して原板に対して平行に、所定の間隔で位置決めする位置決めテーブルとを備えた露光装置において、前記基板の搬送中に該基板の所定位置の板厚を測定する板厚測定手段と;前記基板と前記原板との間隔を測定する間隔測定手段と;前記複数の基板のうち、前記板厚測定手段によって測定された第1の基板の板厚と該第1の基板以降に測定された複数の第2の基板の板厚の夫々との差を求める演算手段と;前記第1の基板を位置決めする際は、前記間隔測定手段による測定値に基づいて、前記基板と前記原板との間隔が前記所定の間隔となる第1の位置に前記位置決めテーブルを駆動して位置決めし、前記複数の第2の基板の夫々を位置決めする際は、前記演算手段による演算結果の夫々に基づいて前記第1の位置を補正することによって、前記基板と前記原板との間隔が前記所定の間隔となる位置に前記位置決めテーブルを駆動して位置決めする制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G01B 21/02
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
, H01L 21/68
