特許
J-GLOBAL ID：200903053391424197
二枚の共振板を有するマイクロジャイロスコープ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-336549
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174266
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 二枚の共振板を有するマイクロジャイロスコープを提供する。【解決手段】 基板と、基板上に所定高さで相互対向する第1フレーム及び第2フレームと、基板に対して第1フレーム及び第2フレームを支持する複数のアンカー部と、第1、第2フレーム間に位置し、相互に所定距離離隔している第1共振板と、第2共振板と、第1共振板と第2共振板に連結され、両共振板の延在面内の第1方向への一側共振板の動きにより動作されて他側共振板を第1方向の反対の第2方向に動作させるマッチングリンク手段とを具備する。これにより、マッチングリンク部による自己共振マッチング構造により共振板間の共振周波数差を除去するために、工程誤差の許容範囲が大きくて製作しやすいし、共振構造物の信頼性及び線形性が高くて、ドライビングビームとセンシングビームの分離によりモードカップリングを防止でき、従ってセンシング感度を高められる。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に所定高さで相互対向に設けられる第1フレーム及び第2フレームと、前記基板に対して前記第1フレーム及び第2フレームを支持する複数のアンカー部と、前記第1、第2フレーム間に位置し、相互に所定距離離隔している第1共振板及び第2共振板と、前記第1共振板と第2共振板に連結され、前記両共振板の延在面内の第1方向への一側共振板の動きにより動作されて他側共振板を前記第1方向の反対の第2方向に動作させるマッチングリンク手段と、を具備することを特徴とする二枚の共振板を有するマイクロジャイロスコープ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84 Z
