特許

J-GLOBAL ID：200903053400385337

分光反射率測定装置

発明者： 林 尚久 ,  藤原 成章
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-262828
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111240
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 分光反射率を迅速にかつ精度良く測定する。【解決手段】 光源5からの計測光を、第1の凸レンズ6、開口絞り7、視野絞り8、第2の凸レンズ9、ハーフミラー10、第3の絞り11および対物レンズ12を通して測定試料面Sの所定の二次元領域に照射する。測定試料面Sから反射した反射光を、対物レンズ12、第3の絞り11、ハーフミラー10、第3の凸レンズ15および透過波長可変フィルター18を通して入射し、その分光画像をCCDカメラ14で撮影するとともに、分光反射率測定手段16により、分光画像に基づいて分光反射率を測定する。透過波長可変フィルター18で複数種の波長を選択操作し、被測定物13の測定試料面Sの二次元領域の分光反射率を一挙に測定する。

請求項（抜粋）：

計測光を発する光源と、前記光源からの計測光を測定試料面に到達させる照明光学系と、前記測定試料面からの反射光を結像させる結像光学系と、前記測定試料面からの反射光を分光する分光手段と、結像された分光画像を撮影する撮像手段と、前記分光画像に基づいて分光反射率を測定する分光反射率測定手段と、を備えた分光反射率測定装置において、前記分光手段を、前記結像光学系と前記分光反射率測定手段との間に設けて前記測定試料面の二次元領域から前記分光反射率測定手段に到達する透過反射光の波長を変更する透過波長可変フィルターで構成したことを特徴とする分光反射率測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/27 ,  G01B 11/06

FI (2件)：

G01N 21/27 E ,  G01B 11/06 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-290946
  
• 高速分光測光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-194193   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平2-226028