特許
J-GLOBAL ID:200903053403749313

外観検査装置及び外観検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-148266
公開番号(公開出願番号):特開2000-337842
出願日: 1999年05月27日
公開日(公表日): 2000年12月08日
要約:
【要約】【課題】 検査対象物の表面を照明し、影の発生の有無を認識することで検査対象物表面の凹凸を認識して良否判定を行うに際し、「照明むら」の発生の有無に拘らず正確な良否判定が行えるようにする。【解決手段】 照明装置51で対象物A表面に光を照射した状態でCCDカメラ52によりこの表面を撮像し、影の有無を検知することにより凹凸を認識する外観検査装置である。予め良品である対象物を使用して複数の良品画像データを得ておき、これら良品画像データに基づいて各画素毎に平均濃度と標準偏差とを求める。2値化しきい値算出式「平均濃度+α×標準偏差」(αは係数)により各画素毎に2値化しきい値を設定する。検査対象物A表面の各画素の濃度とこの画素に対応する良品画像データの画素の2値化しきい値とを比較して検査対象物表面Aの各画素の2値化を行って良否判定を行う。
請求項(抜粋):
検査対象物表面の凹凸を認識することにより、検査対象物の外観の良否判定を行う外観検査装置において、上記検査対象物表面に対して光を照射する照射手段と、上記光が照射された検査対象物表面の画像を撮像する撮像手段と、上記検査対象物と同形状の良品である対象物の表面を照射手段からの光を照射しながら撮像手段によって撮像することにより複数の良品ディジタル画像データを得て、各良品ディジタル画像データそれぞれにおける同一位置にある画素毎に平均濃度と標準偏差とを求め、この平均濃度と標準偏差とに応じて各画素毎に2値化しきい値を設定するしきい値設定手段と、上記撮像手段によって撮像された検査対象物表面のディジタル画像データの各画素の濃度とその画素に対応する良品ディジタル画像データの画素の上記2値化しきい値とをそれぞれ比較して不良部分を判別し、この判別に基づいて検査対象物の良否判定を行う良否判定手段とを備えていることを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件):
G01B 11/30 ,  B29C 47/08
FI (2件):
G01B 11/30 A ,  B29C 47/08
Fターム (32件):
2F065AA49 ,  2F065BB05 ,  2F065BB11 ,  2F065BB15 ,  2F065CC00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR08 ,  2F065UU05 ,  4F207AG05 ,  4F207AG21 ,  4F207AH47 ,  4F207AM22 ,  4F207AM32 ,  4F207AP12 ,  4F207AQ01 ,  4F207KA01 ,  4F207KA17 ,  4F207KA20 ,  4F207KK90 ,  4F207KM06 ,  4F207KM16 ,  4F207KW50

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