特許
J-GLOBAL ID：200903053403958443
イットリア安定化ジルコニア膜の製造法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-119654
公開番号（公開出願番号）：特開平5-290861
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 緻密で均質なイットリア安定化ジルコニア膜(YSZ膜)を超音波噴霧熱分解法により低コストで容易に成膜する方法を提供すること。【構成】 ジルコニウムとイットリウムの金属石けんの溶液とを混合して原料溶液を作り、該原料溶液に超音波を作用させてエアロゾルを発生し、該エアロゾルを赤外線により加熱された金属板上におかれた基板に空気をキャリアガスとして噴霧して熱分解する。
請求項（抜粋）：
ジルコニウムとイットリウムの金属石けんの溶液を混合して原料溶液を作り、該原料溶液に超音波を作用させてエアロゾルを発生し、該エアロゾルを赤外線により加熱された金属上に置かれた基板に空気をキャリアガスとして噴霧して熱分解することを特徴とする超音波噴霧熱分解法によるイットリア安定化ジルコニア膜の製造法。
IPC (2件)：
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