特許

J-GLOBAL ID：200903053405349460

バンプの転写装置及び転写方法

発明者： 石川 隆稔
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-318189
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163552
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 電極の数や配置が異なる様々な品種のチップにバンプを転写できる手段を提供する。【構成】 バンプ2が形成される担体を伸縮自在なシート12とし、チップ3をシート12に対して相対的に水平移動させながら、押圧子26によりシート12を押圧し、シート12を伸長させながらその下面のバンプ2をチップ3の電極5にボンディングするようにした。【効果】 チップ3の品種変更により電極5の数や位置が変る場合は、チップ2とシート12の相対的な移動ストロークをこれに応じて加減することにより、チップ3の品種変更に対応でき、様々なチップ3にバンプ2を転写できる。

請求項（抜粋）：

担体の表面に形成されたバンプをチップの電極に転写するバンプの転写装置であって、前記担体を伸縮自在な弾性を有するシートとし、前記チップを前記シートに対して相対的に水平方向に移動させる移動手段と、前記シートの上方に設けられて前記シートを弾性的に伸長させながら押圧して前記バンプを前記チップの電極に転写する押圧子と、押圧子を上下動させる上下動手段とを備えたことを特徴とするバンプの転写装置。