特許

J-GLOBAL ID：200903053406006338

基板の裏面研削装置

発明者： 小此木 弘孝 ,  関田 三郎 ,  喜田 浩章
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-235064
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050597
出願日： 2000年08月03日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 カセット選択あるいはウエハ研削量の入力に人為的なミスがある場合は研削が中断され、正常なときは、異なった部室のアンロ-デヂィングカセットに研削ウエハが収納されること。【解決手段】 研削室A内のロ-ディングカセット117、第1搬送ロボット115、ウエハ洗浄機構および第1アンロ-ディングカセット120を備える研削装置101、搬送室B内の第2搬送用ロボット25および第2アンロ-ディングカセット24、研削室と搬送室の共有仕切壁には、第2搬送ロボットのア-ムに備えられた吸着パッドが洗浄機構に載っているウエハを搬送室に搬入できるように設けられた開口部34のシャッタ-機構、ロ-ディングカセットに収納されているウエハの種類により研削室の洗浄されたウエハが第1アンロ-ディングカセットに搬入されるか、第2アンロ-ディングカセットに搬入されるかを指示する機構、および、指示機構の指示に基づいて第1または第2搬送ロボットの制御機構、とを備える。

請求項（抜粋）：

全体を仕切壁により囲まれた研削室(A)内に配置されたウエハロ-ディングカセット、第1搬送ロボット、ウエハチャック機構、研削砥石機構、ウエハ洗浄機構および第1ウエハアンロ-ディングカセットを備える研削装置、全体を仕切壁により囲まれた搬送室(B)内に配置された第2搬送用ロボットおよび第2ウエハアンロ-ディングカセット、研削室(A)の仕切壁と搬送室(B)の仕切壁を共有している仕切壁には、搬送室(B)内の第2搬送ロボットのア-ムに備えられた吸着パッドが研削装置の洗浄機構に載っているウエハを吸着して搬送室(B)に搬入できるように出入り可能な開口部が設けられ、該開口部を開閉可能とするシャッタ-機構、ウエハロ-ディングカセットに収納されているウエハの種類により研削室(A)のウエハ洗浄機構上に有る洗浄されたウエハが第1搬送ロボットにより第1ウエハアンロ-ディングカセットに搬入されるか、第2搬送ロボットにより第2ウエハアンロ-ディングカセットに搬入されるか制御機構に指示する指示機構、および、指示機構の指示に基づいて第1搬送ロボットまたは第2搬送ロボットの動作を制御する制御機構、とを備える裏面研削装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 622 ,  B65D 85/86 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68 ,  B24B 7/06

FI (6件)：

H01L 21/304 622 L ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 V ,  B24B 7/06 ,  B65D 85/38 J

Fターム (43件)：

3C043BA09 ,  3C043BA17 ,  3C043DD11 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CC02 ,  3E096DA01 ,  3E096DA17 ,  3E096DB08 ,  3E096DC02 ,  3E096EA01Y ,  3E096EA02X ,  3E096FA01 ,  3E096FA27 ,  3E096GA03 ,  3E096GA07 ,  3E096GA09 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA43 ,  5F031GA50 ,  5F031GA54 ,  5F031JA02 ,  5F031JA22 ,  5F031KA02 ,  5F031KA03 ,  5F031KA20 ,  5F031MA06 ,  5F031MA09 ,  5F031MA13 ,  5F031MA22 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031PA03