特許

J-GLOBAL ID：200903053409646214

反射ミラー装置及び露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 宮島 義一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-191282
公開番号（公開出願番号）：特開2004-039696
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】露光装置の反射光学系に用いるミラーの温度上昇を抑え、ミラー反射面の面形状精度を維持する。【解決手段】露光光を反射によって導いて露光処理を行なう露光装置の反射光学系に用いられる反射ミラー装置は、露光光2dを反射する反射面を有するミラー30と、ミラー30の外表面より離間して配置された輻射冷却用の輻射板25a〜25eとを有する。ここで輻射板25a〜25eはミラー30の反射面へ入射して反射する露光光の通過域を確保するように配置される。また、各輻射板25a〜25eは、冷却管23a〜23eを通る冷却液によって温度調節される。【選択図】 図3A

請求項（抜粋）：

露光装置において、露光光を反射によって導く反射光学系を構成する反射ミラー装置であって、 前記露光光を反射する反射面を有するミラーと、 前記ミラーの外表面より離間して配置され、前記反射面へ入射して反射する露光光の通過域を確保して配置された輻射冷却用の輻射板と、 前記輻射板の温度調節をするための温調機構と を備えることを特徴とする反射ミラー装置。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G02B5/10 ,  G02B17/00 ,  G03F7/20

FI (9件)：

H01L21/30 516E ,  G02B5/10 A ,  G02B17/00 Z ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 502D ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A

Fターム (20件)：

2H042AA25 ,  2H042AA32 ,  2H042DB02 ,  2H042DD05 ,  2H042DE07 ,  2H087KA21 ,  2H087NA04 ,  2H087TA02 ,  2H097AA02 ,  2H097AB05 ,  2H097BA10 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB25 ,  5F046DA26 ,  5F046DA30 ,  5F046GB01