特許
J-GLOBAL ID:200903053420020084

液体吐出ヘッド用オリフィスプレートの製造方法、オリフィスプレート、該オリフィスプレートを有する液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 忠 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-178817
公開番号(公開出願番号):特開平11-129483
出願日: 1998年06月25日
公開日(公表日): 1999年05月18日
要約:
【要約】【課題】 電鋳法を用いた場合においても、安定した液滴の吐出を行うことができるとともに高品質の画像を実現すること。【解決手段】 ガラス原板1に電子線描画されたクロムをマスクにしてガラス溝をパターニングし、そのガラス溝2に銀3を埋め込んでニッケル4めっきした後、さらにニッケル4をニッケルよりも耐食性の高い金7でめっきする。このようにレジストを用いずに吐出口を形成するため、吐出口に段差が形成されることはなく、それにより、吐出エネルギーが液滴吐出に有効に作用しにくかったり、吐出方向性のばらつきが生じることを防ぐ。
請求項(抜粋):
液体を吐出する吐出口を備える液体吐出ヘッドに用いられるオリフィスプレートの製造方法であって、前記吐出口に相当する平面部周辺に形成されている凹部を備えた非導電性原版を用意する工程と、前記非導電性原版の凹部内にのみ該非導電性原版に対して剥離可能な第1の導電材を形成する工程と、前記第1の導電材を形成した後、前記第1の導電材に対して第2の導電材を電鋳法によりめっきし、板状部材を形成する工程と、該板状部材を前記非導電性原版から剥離することで前記吐出口を有するオリフィスプレートを得る工程とを有することを特徴とするオリフィスプレートの製造方法。
IPC (2件):
B41J 2/135 ,  B41J 2/05
FI (2件):
B41J 3/04 103 N ,  B41J 3/04 103 B

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