ダイコータによるガラス基板への塗布方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-051017
公開番号（公開出願番号）：特開平8-243476
出願日： 1995年03月10日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】【目的】 “うねり”、“そり”を有するガラス基板に、10μm以下の薄膜を簡単な方法で塗布する。【構成】ダイコータ(1)によりガラス基板(9)上に塗布を行うに際し、塗布液の粘度、塗布液の表面張力および塗布速度から算出されるキャピラリー数が0.1以下となる領域から得られたギャップをもってダイコータを設置し、吸引機構を有し、かつ、平坦度が2μm以下のテーブル(6)上に前記ガラス基板を吸着保持し、前記ダイコータとテーブルとを相対的に移動させ、ダイコータによりガラス基板上に塗布するダイコータによるガラス基板への塗布方法。

請求項（抜粋）：

ダイコータによりガラス基板上に塗布を行うに際し、吸引機構を有し、かつ、平坦度が2μm以下のテーブル上に前記ガラス基板を吸着保持し、前記ダイコータとテーブルとを相対的に移動させ、ダイコータによりガラス基板上に塗布することを特徴とするダイコータによるガラス基板への塗布方法。

IPC (3件)：

B05D 1/26 , B05D 7/00 , B05C 5/02

FI (3件)：

B05D 1/26 Z , B05D 7/00 E , B05C 5/02

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