特許
J-GLOBAL ID:200903053437020169

屈折率分布の測定装置及び該装置を用いた屈折率分布の測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-207389
公開番号(公開出願番号):特開平11-037937
出願日: 1997年07月17日
公開日(公表日): 1999年02月12日
要約:
【要約】【課題】 屈折率がほぼ同一の試液B内にセットされた被検物Aについて、干渉縞像を形成し、形成された干渉縞像の透過波面を測定して被検物の屈折率分布を測定する装置において、試液Bの温度ムラが少なくなり、精度のよい測定ができる装置を提供する。【解決手段】 試液Bを入れたセル21の外側を容器31で覆い、容器31に液体Cを入れ、該液体Cにより上記試液Bの温度を制御する。液体Cは入口32から入り出口33から出て循環するが、容器31の出口側にガイド板34を設け、液体Cがセル21の周辺を大きく回るようにして広範囲で熱交換させる。
請求項(抜粋):
同一光源からの可干渉光を参照波と被検波とに分割し、これらを重畳して干渉縞を形成する干渉計と、上記被検物を屈折率が被検物とほぼ等しい試液内に保持するとともに相互に平行な入射窓と射出窓とを有するセルと、該セルの外側に設けられセルのほぼ全体を浸す液体を収容する容器と、該容器の一方側の上方に形成された液体の入口と、該容器の他方側下方に形成された出口と、該容器内の出口と対向する位置に配置されたガイド板とを有し、該ガイド板によって容器内の液体が上記セルの表面を広範囲に渡って流れるようにしたことを特徴とする屈折率分布の測定装置。
IPC (2件):
G01N 21/41 ,  G01B 9/02
FI (2件):
G01N 21/41 Z ,  G01B 9/02

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