特許
J-GLOBAL ID：200903053437604012
ウエハ保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-066732
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236468
出願日： 1995年03月01日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】高温熱処理に対してもウエハ保持装置の変形や、保持するウエハの割れ変形を防止し、歩留まり向上とウエハ保持装置の短命を防止する。【構成】 本発明は、保持棒7に挿設される耐熱性芯体4の内挿用穴5中心を、保持棒7の軸心に対し、溝切込み位置より離れる方向に位置をずらして形成し、保持棒7に刻設した溝底と前記内挿用穴5の内壁との間の肉厚を十分に確保出来る構成としたものである。そして前記保持棒7は、前記内挿用穴5に耐熱性芯体4を内挿した後に真空封止したものを使用するのがよく、又前記保持棒7は円筒状偏心中空管として構成してもよく、又保持棒7軸心と内挿用穴5中心を結ぶ線方向に長円化した断面長円若しくは断面楕円状保持棒7より構成してもよく、更には中空角柱で構成する事も可能である。
請求項（抜粋）：
多数枚のウエハを保持する保持溝を刻設した石英ガラス製保持棒を具え、該保持棒内に耐熱性芯体が挿設されたウエハ保持装置において、前記保持棒に挿設される耐熱性芯体の内挿用穴の中心を、保持棒の軸心に対し、溝切込み位置より離れる方向に位置をずらして形成したことを特徴とするウエハ保持装置。
IPC (6件)：
H01L 21/22 511
, C03B 23/20
, C23C 14/50
, H01L 21/205
, H01L 21/31
, H01L 21/324
H01L 21/22 511 G
, C03B 23/20
, C23C 14/50 D
, H01L 21/205
, H01L 21/31 E
, H01L 21/324 D
