特許
J-GLOBAL ID：200903053447135959
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-215869
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083824
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】電極パッドに対してプローブ装置の接触子を確実に接触させる。【構成】プローブ装置は半導体ウェハWの載置台13を有し、その上方に支持ブロック50が取付けられたプリント配線板42が配設される。支持ブロック50の凹部55を覆うように可撓性の膜状プローブカード21が取付けられる。プローブカード21は、ウェハWの電極パッドEPに接触する接触子28が配置された主領域27を有する。プローブカード21の裏面には平面性を付与するための硬質の矩形フレーム29が接合される。支持ブロック50の凹部55内にプッシャ71が配設され、プローブカード21の主領域27の裏側に接触する。プッシャ71は垂直に支持されたシャフト74の下端に揺動自在に配置される。シャフト74は2枚の皿ばね77、78を介して支持ブロック50に支持される。
請求項（抜粋）：
複数の電極パッドを具備する被検査体の電気的特性を検査するためのプローブ装置であって、前記被検査体を載置するための載置面を具備する載置台と、前記載置台の上方に配設された配線板と、前記配線板は、装置筐体に支持された高い剛性を有する基板と前記基板上に配設され且つテスタに電気的に接続されたボード配線とを具備することと、前記配線板に支持されたプローブカードと、前記プローブカードは可撓性で且つ絶縁性の膜と前記膜上に形成され且つ前記配線板の前記ボード配線に電気的に接続された可撓性のカード配線とを具備することと、前記プローブカードは、前記被検査体の前記電極パッドの夫々に接触するための複数の接触子が配置された主領域を前記載置面に対向する表側に具備することと、前記接触子はカード配線に電気的に接続されることと、前記プローブカードを前記配線板に取付けるための取付け手段と、前記プローブカードの前記主領域の裏側に接触するプッシャと、前記プッシャはその輪郭内に前記接触子の全てが位置するように設定された接触面を具備することと、前記プッシャと係合し、前記プッシャを揺動自在に前記プローブカードの前記主領域の裏側に配置するためのシャフトと、前記シャフトに接続され、前記プローブカードの主領域に対する付勢力を前記プッシャの接触面に付与するための皿ばねと、前記配線板に取付けられた、前記皿ばねを保持するための手段と、を具備するプローブ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
