特許
J-GLOBAL ID:200903053447975876
赤外線固体撮像素子の駆動方法及びその装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
▲柳▼川 信
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-276070
公開番号(公開出願番号):特開平9-121305
出願日: 1995年10月25日
公開日(公表日): 1997年05月06日
要約:
【要約】【課題】 読出しゲートのリセット電位で一義的に決定される飽和電荷量と同程度に電荷が溜まった時点でも、高感度を維持可能とする。【解決手段】 CCD駆動部9は内部の基準クロック信号を基に垂直CCD2-1〜2-m及び水平CCD3への駆動信号や読出しゲート6-11〜6-mnへの読出しゲート駆動信号を夫々生成して赤外線固体撮像素子1に出力する。バイアス印加部10はCCD駆動部9からの基準クロック信号を基に、読出しゲート6-11〜6-mnへの読出しゲート駆動信号が“OFF”から“ON”となるタイミングより若干早いタイミングでシールド兼反射鏡4-1〜4-mを正バイアスから基準電位とし、読出しゲート駆動信号が“ON”から“OFF”となるタイミングより若干後のタイミングで基準電位から正バイアスに戻る金属反射鏡印加信号を金属反射鏡印加信号線8に出力する。
請求項(抜粋):
光学的キャビティ構造を有する裏面照射型の赤外線検出素子からなる受光部が2次元に配列され、該受光部で発生した光信号電荷を垂直電荷結合素子及び水平電荷結合素子の組合せによって時系列信号として出力する赤外線固体撮像素子の駆動方法であって、前記受光部からの前記光信号電荷の読出しの直前から前記光信号電荷の読出しの直後までの期間において前記光学的キャビティ構造の構成要素である金属反射鏡を基準電位とするステップと、当該期間を除く前記受光部から前記光信号電荷を読出さない期間において前記金属反射鏡を前記赤外線検出素子のバイアス状態が電流電圧特性上の逆方向にシフトする電位とするステップとを有することを特徴とする赤外線固体撮像素子の駆動方法。
IPC (3件):
H04N 5/33
, H01L 27/14
, H01L 27/148
FI (3件):
H04N 5/33
, H01L 27/14 K
, H01L 27/14 B
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