特許

J-GLOBAL ID：200903053448811036

電子部品用誘電体膜シート、その製造方法および誘電体素子

発明者： 藤井 覚 ,  高山 良一 ,  鎌田 健 ,  神野 伊策
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 東島 隆治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-290315
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135528
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 製法が簡便で、基板材料にかかわらず、微細な誘電体素子を提供することを目的とする。【解決手段】 粘着剤シート上に、第2電極パターン、誘電体膜、誘電体膜の周囲を囲む樹脂膜、および第1電極パターンが順次設けられ、第2電極パターンと誘電体膜とが樹脂膜に形成したコンタクトホールをとおして接触している電子部品用誘電体膜シート。この誘電体膜シートを用いて誘電体素子を製造する。

請求項（抜粋）：

粘着剤シート上に第2電極パターンを設け、その上に誘電体膜および第1電極パターンを順次設けたことを特徴とする電子部品用誘電体膜シート。

IPC (8件)：

H01L 41/09 ,  G01J 1/02 ,  H01G 4/33 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 29/84 ,  H01L 37/02 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

H01L 41/08 C ,  G01J 1/02 Y ,  H01L 29/84 Z ,  H01L 37/02 ,  H01G 4/06 101 ,  H01L 27/10 651 ,  H01L 41/22 Z