特許

J-GLOBAL ID：200903053448866582

ステージシステム及びステージ制御方法

発明者： 椋 哲也 ,  久保田 裕美
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-238414
公開番号（公開出願番号）：特開平5-080853
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【目的】 より操作性の良いXYステージのシステム及び制御方法を提供する。【構成】 X、Y方向に移動可能なXYステージ1と、XYステージ1を駆動するためのステージ駆動部2と、ステージ駆動部2を制御するための制御部3と、制御部3に接続され前記XYステージ1の移動制御用の移動制御領域7を表示するディスプレイ部4と、制御部3に指令を入力するための入力部5、6と、を備えたステージシステムであって、制御部3は、入力部5、6からのカーソル制御指令に応じて移動制御領域7内の任意の位置に移動制御用カーソル8を表示し、かつ移動制御用カーソル8が表示されているときに入力部5、6によりステージ制御指令が入力された場合には、移動制御領域7の中心点9から移動制御用カーソル8の表示点へ向う方向へ、当該中心点9から移動制御用カーソル8の表示点までの距離によって定まる速度で、XYステージ1を移動制御するように構成される。

請求項（抜粋）：

X、Y方向に移動可能なXYステージ(1)と、当該XYステージ(1)を駆動するためのステージ駆動部(2)と、当該ステージ駆動部(2)を制御するための制御部(3)と、当該制御部(3)に接続され前記XYステージ(1)の移動制御用の移動制御領域(7)を表示するディスプレイ部(4)と、前記制御部(3)に指令を入力するための入力部(5、6)と、を備えたステージシステムであって、前記制御部(3)は、前記入力部(5、6)からのカーソル制御指令に応じて前記移動制御領域(7)内の任意の位置に移動制御用カーソル(8)を表示し、かつ当該移動制御用カーソル(8)が表示されているときに入力部(5、6)によりステージ制御指令が入力された場合には、前記移動制御領域(7)の中心点(9)から前記移動制御用カーソル(8)の表示点へ向う方向へ、当該中心点(9)から前記移動制御用カーソル(8)の表示点までの距離によつて定まる速度で、前記XYステージ(1)を移動させるように制御することを特徴とするステージシステム。

IPC (2件)：

G05D 3/12 306 ,  G05D 3/12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-011539
  
• 特開平2-188790
  
• 特開平4-370639