特許

J-GLOBAL ID：200903053458933679

半導体製造管理システム

発明者： 田上 僚一
出願人/特許権者： 宮崎沖電気株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273757
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097021
出願日： 1992年09月16日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、半導体製造管理システムにおいて、製造工程に応じた補助処理回数の調整機能を設けることにより、ロットの進捗を円滑にして、ロットの進捗管理性能の向上を図る。【構成】 ロットの品質を救済するための補助処理工程の記憶手段122 と、各製造工程に対応した補助処理工程を記憶する行き先補助処理工程の記憶手段113 と、各補助処理工程に対応した戻り先の製造工程を記憶する戻り先工程の記憶手段123 と、各記憶手段に指示する演算部141 と、各製造工程ごとの補助処理回数の限度を記憶する繰り返し限度の記憶手段114 と、各製造工程での同一補助処理工程の繰り返し回数を記憶する補助処理回数の記憶手段135 と、補助処理の回数が限度を越えていない場合には必要な補助処理を行い、限度を越えている場合には補助処理を停止する、補助処理の進捗制御手段143 とを設けたものである。

請求項（抜粋）：

ロットの品質を救済する補助処理工程を、順列をなす複数の工程の並びとして記憶する補助処理工程の記憶手段と、対象となる品種ごとの各製造工程に対応する前記補助処理工程を、各製造工程に対応させて記憶する行き先補助処理工程の記憶手段と、各補助処理工程を終了した後の戻り先の製造工程を、当該補助処理工程に対応させて記憶する戻り先工程の記憶手段と、前記各記憶手段に指示する演算部とによって、半導体製造工程に仕掛かるロットの進捗状況を管理する半導体製造管理システムにおいて、前記製造工程に対する補助処理回数の限度を記憶する繰り返し限度の記憶手段と、前記製造工程で同一補助処理工程の繰り返し回数を記憶する補助処理回数の記憶手段と、前記補助処理回数の限度と前記同一補助処理工程の繰り返し回数とを比較判定して、補助処理の回数が限度を越えていない場合には、必要な補助処理を行い、限度を越えている場合には補助処理を停止する、補助処理の進捗制御手段とを設けたことを特徴とする半導体製造管理システム。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-191903
  
• 特開平3-287358
  
• 特開昭63-249328