特許

J-GLOBAL ID：200903053460939226

高精度光学部品用反射防止膜

発明者： 生水 利明 ,  秋元 文二 ,  川俣 健 ,  池田 浩 ,  三田村 宣明 ,  新田 佳樹
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-114202
公開番号（公開出願番号）：特開平7-301703
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 光学部品を強制加熱せず、蒸発源からの輻射熱を低く抑え、蒸着する光学部品の形状精度を劣化させず、実用上問題ない耐久性の反射防止膜を得る。【構成】 低屈折率材料としてSiO2 、高屈折率材料として蒸発源からの輻射熱の低いWO3 を使用して成膜する。

請求項（抜粋）：

設計波長をλとし、1層目にWO3 の光学膜厚を0.103λ、2層目にSiO2 の光学膜厚を0.317λ形成したことを特徴とする高精度光学部品用反射防止膜。