X線顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三品岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132946
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005798
出願日： 1994年06月15日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】光学的に焦点合わせされた観察位置に基づいて、その観察位置に、X線による焦点を合わせることができるX線顕微鏡を提供する。【構成】試料12を収容する試料容器4と、X線光学系100および可視光光学系200と、試料容器4の位置を測定する測定手段と、測定手段からの測定結果を受け入れて、可視光光学系200により焦点が合わせられた観察位置に対応するX線による観察位置を算出する演算手段23と、試料容器4を変位させる試料ステージ24と、演算手段23の演算結果に基づいて、試料ステージ24の動作を制御する制御装置23aと、試料ステージ24の動作についての操作および特定の合焦位置の決定に関する操作を受け付ける入力装置23bとを有する。

請求項（抜粋）：

試料容器内に収容された試料のX線像を得るX線光学系と、該試料の可視光像を得る可視光光学系とを備えるX線顕微鏡において、X線光学系および可視光光学系の、少なくともそれぞれの光軸方向に沿って、試料容器を変位させる試料容器変位機構と、予め定めた測定用の原点から、可視光光学系で合焦された試料の観察すべき位置までの、可視光線での光学的距離を測定する可視光観察位置測定手段と、測定された該可視光での光学的距離と、予め求められている、試料容器内での、該可視光線と観察に用いられるX線とに対する屈折率の相対的な関係とから、該原点から該観測すべき位置までの該X線での光学的距離を算出するX線観察位置算出手段と、該算出結果に基づいて、試料容器変位機構を制御して、X線光学系による焦点位置が該観察すべき位置と一致するように試料容器を変位させる制御手段とを有することを特徴とするX線顕微鏡。

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