特許

J-GLOBAL ID：200903053469438572

静電チャック

発明者： 都丸 一彦 ,  半田 隆一 ,  米山 勉
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-062325
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260473
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 十分な放熱特性を有することにより冷却性能に優れ、かつ耐久性の高い静電チャックを提供する。【解決手段】 金属板上にセラミックスからなる第1絶縁層と、該第1絶縁層上に電極として形成された導電性パターンと、該導電性パターン上に弾性体からなる第2絶縁層が設けられてなることを特徴とする静電チャック。

請求項（抜粋）：

金属板上にセラミックスからなる第1絶縁層と、該第1絶縁層上に電極として形成された導電性パターンと、該導電性パターン上に弾性体からなる第2絶縁層が設けられてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-342155
  
• 静電吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-174095   出願人：日本真空技術株式会社, 日本特殊陶業株式会社