静電アクチュエータ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373656
公開番号（公開出願番号）：特開2001-190079
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】絶縁体内に複数の駆動用帯状電極を有する第1部材と、同じく絶縁体内に複数の駆動用帯状電極を有する第2部材と、前記第1部材の駆動用帯状電極及び前記第2部材の駆動用帯状電極に接続される多相交流電源とを設け、前記第1部材と前記第2部材間の静電気力で前記第1部材及び前記第2部材の一方もしくは両方を移動させる静電アクチュエータにおいて、前記第1部材及び前記第2部材間に働く静電吸引力が変動することがないため直進安定性の優れた静電アクチュエータを提供する。【解決手段】駆動用帯状電極とは別に吸引用電極を第1部材及び第2部材内にそれぞれ設け、前記第1部材の吸引用電極及び前記第2部材の吸引用電極間に所定の大きさの直流電圧を印可することで第1部材及び第2部材間に働く静電吸着力の大きさを一定に保つこととした。

請求項（抜粋）：

絶縁体内に複数の駆動用帯状電極を有する第1部材と、同じく絶縁体内に複数の駆動用帯状電極を有する第2部材と、前記第1部材の駆動用帯状電極及び前記第2部材の駆動用帯状電極に接続される多相交流電源とを設け、前記第1部材と前記第2部材間の静電気力で前記第1部材及び前記第2部材の一方もしくは両方を移動させる静電アクチュエータにおいて、前記駆動用帯状電極とは別に吸引用電極を前記第1部材及び前記第2部材内にそれぞれ設け、前記第1部材の吸引用電極及び前記第2部材の吸引用電極に接続される直流電源を設けたことを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H02N 1/00 , H02K 7/08

FI (2件)：

H02N 1/00 , H02K 7/08 A

Fターム (8件)：

5H607AA04 , 5H607BB01 , 5H607BB11 , 5H607CC01 , 5H607FF01 , 5H607GG11 , 5H607GG13 , 5H607GG14

前のページに戻る