特許
J-GLOBAL ID：200903053491792223
ウエハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-027196
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203981
出願日： 1995年01月24日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ウエハの検査、製造を、自動あるいは半自動で行なうウエハ搬送装置に関し、時間あたりのウエハ処理枚数の向上および省スペース化を図った。【構成】 ウエハ搬送装置1はウエハ平面内の回転方向の位置合わせと、ウエハを一定高さまで持ち上げた後、傾斜回転とを行なう。搬送アーム4、センタリング用コマ5、ウエハチャック6、ウエハ傾斜・回転機構7、センサ8、回動部材17より構成される。2はXY・θ方向の位置合わせと、ウエハの直交XY方向の移動とを行なう。ウエハチャック9、位置合わせ用コマ10、XY方向水平移動機構11および搬送アーム12より構成される。3はウエハ収納用カセットを上下に移動し、所定高さに位置決めを行なうカセット台である。
請求項（抜粋）：
未処理ウエハ収納位置から取り出したウエハおよび処理済ウエハ収納位置へ収納するウエハを択一的に保持する第一の保持手段と、所定の受け渡し位置で上昇して未処理のウエハを受け取ってから所定の処理位置で該ウエハに対し所定の処理が施され次いで前記受け渡し位置で下降して処理済のウエハを引き渡すまでの間、該ウエハをほぼ水平状態で保持する第二の保持手段と、第一の保持手段から未処理のウエハを、第二の保持手段から処理済のウエハを受け取ってそれぞれ第二および第一の保持手段に引き渡すウエハ入替え手段と、前記入替え手段から第二の保持手段に引き渡されたウエハの側面の複数箇所に位置合わせ用コマを当てることにより該ウエハを該ウエハ平面内でXYおよびθ方向に位置合わせする位置合わせ手段と、第二の保持手段を搭載して直交XY方向に水平移動し前記ウエハを前記受け渡し位置と前記処理位置との間で搬送する移動手段とを具備するウエハ搬送装置において、前記位置合わせ手段は、前記入替え手段から第二の保持手段に受け渡された未処理ウエハをその受け渡された高さ位置で位置合わせすることを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/66
