特許
J-GLOBAL ID：200903053494713820
走査光学系検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-178913
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356071
出願日： 2000年06月14日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、結像レンズを保持する鏡筒による光ビームの光路の干渉を防止し、光ビームの受光角度が大きい被走査面上の両端部でも光ビームを正確且つ高精度に測定することができる走査光学系検査装置を提供するものである。【解決手段】 走査光学系検査装置10は、結像レンズ16と受光素子19とを光ビーム走査方向Xに別々に移動自在に配設し、受光素子19が結像レンズ16の中心位置から相対的に移動して光ビーム11を受光することにより、結像レンズ16と受光素子19とを光ビーム11の光路上に配置する。
請求項（抜粋）：
被走査面上に走査された光ビームを測定する走査光学系検査装置において、結像レンズを有し走査された光ビームを結像位置に結像する結像手段と、前記結像手段から離隔して配置され、前記結像手段によって結像された光ビームを受光する受光手段と、前記結像手段を保持して被走査面上で光ビームが走査される光ビーム走査方向に移動する第1移動手段と、前記受光手段を保持して光ビーム走査方向に移動する第2移動手段と、を備え、前記受光手段が光ビームを受光するとき、前記受光手段を移動して光ビームの結像位置に配置するようにしたことを特徴とする走査光学系検査装置。
Fターム (1件)：
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