特許
J-GLOBAL ID：200903053495936424
弾性表面波フィルタの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-347242
公開番号（公開出願番号）：特開平9-167932
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】ウエハ上に弾性表面波フィルタの構成要素となる電極等のパターンを形成するとき、機械的摩擦や温度変化により静電気を生じることがあっても、隣接する電極同士で放電することがないようにして電極が破壊することを防ぐ。【解決手段】弾性表面波フィルタの構成要素(電極3,4,5)の外周側にそれらを接続する接続路10のパターンを形成し、チップ単体2を形成すべくウエハ1をスクライブラインに沿って切断するとき、その切断路20により前記接続路10のうちの少なくとも前記構成要素3,4,5間を結ぶ外周路12部分を切除して前記構成要素3,4,5を電気的に独立させる。
請求項（抜粋）：
弾性表面波フィルタとなる多数のチップ単体に分割され得るウエハ上に、弾性表面波フィルタの構成要素となる複数の電極等のパターンを形成する際、前記構成要素の外周側にそれらを接続する接続路のパターンを形成し、前記チップ単体を形成すべく前記ウエハをスクライブラインに沿って切断するとき、その切断路により前記接続路のうちの少なくとも前記構成要素間を結ぶ外周路部分を切除して前記構成要素を電気的に独立させることを特徴とする弾性表面波フィルタの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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