特許
J-GLOBAL ID：200903053496585552
超音波洗浄方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 辰彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-043972
公開番号（公開出願番号）：特開平7-031942
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】複雑な表面構造を有するワークに対して優れた洗浄効果が得られる超音波洗浄方法及び超音波洗浄装置を提供する。【構成】洗浄槽5に収容された脱気された洗浄液L中に超音波を放射して洗浄液L中に浸漬された複雑な表面構造を有するワークWを洗浄する。洗浄槽5内にワークWを収容し、洗浄槽5を密閉する密閉工程を備える。密閉された洗浄槽5内の中空にワークWを保持し、所定の気圧に減圧し、ワークW内に貯留される異物をワークW表面に取り出す減圧工程を備える。ワークWを洗浄液L中に浸漬した状態で、洗浄液5中に超音波を放射してワーク5を洗浄する洗浄工程とを備える。
請求項（抜粋）：
洗浄槽に収容された脱気された洗浄液中に超音波を放射して該洗浄液中に浸漬された複雑な表面構造を有するワークを洗浄する超音波洗浄方法において、洗浄槽内にワークを収容したのち、該洗浄槽を密閉する密閉工程と、密閉された前記洗浄槽内の中空にワークを保持し、所定の気圧に減圧して前記ワーク内に貯留される異物を該ワーク表面に取り出す減圧工程と、前記ワークを前記洗浄液中に浸漬した状態で、該洗浄液中に超音波を放射して前記ワークを洗浄する洗浄工程とを備えることを特徴とする超音波洗浄方法。
IPC (2件)：
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