クリーンルーム用ファンフィルター駆動装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106549
公開番号（公開出願番号）：特開2000-297954
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】クリーンルーム内のクリーンエアの流れが上から下方向に真っ直ぐに向かうようにし、さらにインバータユニットから発生するスイッチング周波数によるサージ電圧や漏れ電流をなくすること。【解決手段】クリーンルーム1の天井に複数取り付けられて、クリーンルーム1内のクリーンエアの流れを制御するファンフィルターユニット3の駆動装置において、各々のファンフィルターユニット3を駆動するモータ4に、当該モータ4の速度を可変可能なインバータユニット5をそれぞれ搭載して、各々のファンフィルターユニット3毎に独立して運転する。

請求項（抜粋）：

クリーンルームの天井に複数取り付けられて、前記クリーンルーム内のクリーンエアの流れを制御するファンフィルターユニットの駆動装置において、前記各々のファンフィルターユニットを駆動するモータに、当該モータの速度を可変可能なインバータユニットをそれぞれ搭載して、前記各々のファンフィルターユニット毎に独立して運転するようにしたことを特徴とするクリーンルーム用ファンフィルター駆動装置。

IPC (2件)：

F24F 7/06 , F24F 7/007

FI (2件)：

F24F 7/06 C , F24F 7/007 B

Fターム (7件)：

3L056BA01 , 3L056BD04 , 3L056BD07 , 3L056BE01 , 3L056BF04 , 3L058BF01 , 3L058BF09

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