特許
J-GLOBAL ID：200903053506667722
化学センサ用感応膜作製方法及び化学センサプローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
雨宮 正季
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-299279
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131122
出願日： 1998年10月21日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】【課題】 水晶振動子型化学センサプローブの感応膜について、重量を小さくするための薄膜化および水晶振動子上への密着性の両者に優れた感応膜を作製し、水中に微量に存在する有機物を検知可能な新規センサプローブを提供する。【解決手段】 振動子型質量検出トランスデューサ表面に、酸化ケイ素膜を形成し、該酸化ケイ素膜上にシランカップリング剤から生成する含ケイ素有機薄膜を形成することを特徴とし、さらに上記作製方法により作製された感応膜を有する化学センサグローブを特徴としている。【効果】1ppmという低濃度で水中に存在する有機物を検出可能な、高感度な水晶振動子型センサプローブを作製できる。
請求項（抜粋）：
振動子型質量検出トランスデューサ表面に、酸化ケイ素膜を形成し、該酸化ケイ素膜上にシランカップリング剤から生成する含ケイ素有機薄膜を形成することを特徴とする化学センサ用感応膜作製方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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