半導体レーザ露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大沼浩司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-196499
公開番号（公開出願番号）：特開平6-168862
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】半導体レーザを用いて多数本のレーザ光を一列に次々にずれて重ねることができ該レーザ光の配列方向と直交方向に照射移動して多数本レーザビーム露光ができ、露光作業にかかる時間を大幅に短縮できる半導体レーザ露光装置。【構成】半導体レーザ2,2,・・放射するレーザ光を光ファイバー3,3,・・に導入して光軸間隔を平行に近接させ、第一の集光レンズ4においてオーバーラップ配列とし、第二の集光レンズ5とオートフォーカスレンズ6でオーバーラップ配列のまま絞りこんで被露光物体Wに照射する。

請求項（抜粋）：

走査テーブルに、被露光物体にレーザ光を放射する所要数の半導体レーザをそれらのレーザ光が平行に放射するように並設し、該半導体レーザと同数の光ファイバーの一端部を半導体レーザの間隔に合わせかつそれらの端面を横並びに揃えてレーザ光を導入するように半導体レーザに対向させ、さらに光ファイバーの他端部をそれらの端面を横並びに揃えて平行かつ近接状態に保持し、該光ファイバーの他端部から距離Aだけ離れて第一の集光レンズを設置し、さらに第一の集光レンズから距離Bだけ離れて第二の集光レンズを設置し、さらに第二の集光レンズから距離Cだけ離れてオートフォーカスレンズを設置してなり、前記光ファイバーの他端部の端面から前記第一の集光レンズまでの距離Aは、光ファイバーより放射するレーザ光の拡がりが前記第一の集光レンズの肉厚中心に到達したときに隣接して到達するレーザ光との間で適宜値のオーバーラップを生じるように設定し、前記第一の集光レンズと前記第二の集光レンズとの距離Bは、第一の集光レンズの焦点距離f1と第二の集光レンズの焦点距離f2を加算した距離に設定し、前記第二の集光レンズと前記オートフォーカスレンズとの距離Cは、第二の集光レンズの焦点距離f2とオートフォーカスレンズの焦点距離f3を加算した距離に設定し、前記オートフォーカスレンズと前記被露光物体Wとの距離は、露光に先立って前記走査テーブル1をX軸方向に移動調整してオートフォーカスレンズの焦点距離f3に一致するようになっているとともに、露光中はオートフォーカスレンズのオートフォーカス機能により焦点距離f3に一致するようになっていることを特徴とする半導体レーザ露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , H01S 3/07 , H01S 3/25

FI (2件)：

H01L 21/30 321 , H01S 3/23 S

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-015018
特開昭53-072575
特開昭53-093371

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