特許

J-GLOBAL ID：200903053514065120

蛍光X線分析装置

発明者： 横山 和司 ,  小林 明
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-179088
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019809
出願日： 1996年07月09日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】 軽元素の蛍光X線分析を高いS/N比で実現し,同時に重元素の測定も行うことが可能な蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】 X線源に,該X線源からX線を減衰なしに発射させる発射開口を設けると共に,上記X線源と試料との間に荷電粒子除去手段を設け,更に上記X線の軌道上を真空に保つ。これによって,低エネルギーの特性X線でも強度を減衰させることなく試料に入射させることができ,S/N比低減の原因となる荷電粒子を装置内に進入させることもない。また,蛍光X線の検出手段を,高エネルギー領域検出手段と低エネルギー領域検出手段とを具備して構成することによって,あらゆるエネルギー領域の検出を同時に行うことができ,したがって軽元素,重元素を同時に測定することが可能となる。

請求項（抜粋）：

X線源で発生させたX線を試料に入射することによって発生する蛍光X線を検出手段で検出することによって上記試料表面の元素の分析を行う蛍光X線分析装置において,X線源に,該X線源からX線を減衰なしに発射させる発射開口を設けると共に,上記X線源と試料との間に荷電粒子除去手段を設け,更に上記X線の軌道上を真空に保つようにしたことを特徴とする蛍光X線分析装置。

IPC (3件)：

G01N 23/223 ,  G21K 1/10 ,  G21K 5/02

FI (3件)：

G01N 23/223 ,  G21K 1/10 A ,  G21K 5/02 X