特許

J-GLOBAL ID：200903053523007825

マイケルソン干渉計

発明者： フォルカー タンク ,  ペーター ハシュベルガー ,  ブルクハルト ヤンセン ,  エルヴィン リンダーマイアー ,  クラウス シュナイダー
出願人/特許権者： ドイッチェ フォルシュングザンシュタルト フュル ルフト- ウント ラウムファールト アインゲトラゲネル フェライン
代理人 (1件)： 佐藤 文男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-177712
公開番号（公開出願番号）：特開平7-071909
出願日： 1994年07月07日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 構造がコンパクトで、技術的労力と費用が少なく、誤操作による損傷が少ない、マイケルソン干渉計を提供する。【構成】 ミラーユニット50の2つの平面鏡51、52が、互いに偏心し平行して配置される。ミラーユニット50が中空軸に固定されることにより、中空軸の回転軸線61が小さい平面鏡51の鏡面を通過し、その回転軸線が小さい平面鏡51への法線と鋭角βを形成することで、ビームスプリッター1で形成される2つのビームは、傾斜鏡を経て、中空軸を貫通して小さい平面鏡51の中央に当り、それにより大きい平面鏡52の対向鏡面に反射され、そこから2つの固定平面鏡71、72へ垂直に当り、それらミラーに反射されて、反対方向に同じ路をとり、ビームスプリッター1で再度結合し、光学要素によって検出器4に合焦されるように構成される。

請求項（抜粋）：

ビームスプリッター(1)と、2つのフォールディング鏡(21、22)と、合焦光学要素(3)と、信号放射線を検出する検出器(4)と、駆動ユニット(65)によって回動可能に設定でき、回転軸線がビームスプリッター(1)の中心平面と同じ平面に整列されるミラーユニット(50)であって、このミラーユニット(50)は、所定距離で互に対面する2つの相互平行鏡を有することによってビームスプリッター(1)により形成される両ビームが光路長を変えるために方向付けできるようにしたミラーユニット(50)と、ミラーユニット(50)の回転軸線の異なる反対の側にビームスプリッター(1)から到来するビームに直角に配置される2つの固定平面鏡(71、72)と、放射線源としてのレーザと、レーザ検出器とを有するマイケルソン干渉計において、ミラーユニット(50)の2つの平面鏡は偏心的かつ互いに平行に配置されるサイズの異なる平面鏡(51、52)として具体化され、ベアリングブロック(62)に回転可能に支持され駆動ユニット(65)により駆動される中空軸(63)が設けられ、この中空軸はビームスプリッター(1)とミラーユニット(50)との間に設けられ、その回転軸線(61)はミラーユニット(50)の回転軸線と一致し、ミラーユニット(50)は、中空軸の回転軸線(61)が小さい平面鏡(51)の鏡面を貫通するようにして中空軸(63)に固定され、その回転軸線(61)は小さい平面鏡(51)の法線と鋭角(β)を形成することにより、ビームスプリッター(1)で形成される2つのビームは中空軸(63)を介し2つのフォールディング鏡(21、22)を経て、小さい平面鏡(51)の中央配置鏡面に当り、それにより大きい平面鏡(52)の対向鏡面に反射され、そこから、垂直に固定平面鏡(71、72)に入射するようにして2つの平面鏡(71、72)に向い、それらによって反射され、逆方向に同じ光路をとり、ビームスプリッター(1)で再び結合され、光学要素(3)によって検出器(4)に合焦される、マイケルソン干渉計。