特許

J-GLOBAL ID：200903053529501007

薄膜コーティング及びその形成法

発明者： マーク エイ カマーリング ,  ウィリアム ティー ビーチャンプ ,  ロバート イー クリンガー ,  ジョン ピー レーハン
出願人/特許権者： オプチカル コーティング ラボラトリー インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-054508
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132554
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【構成】 コーティングに圧縮力特性を与える物質的及びコーティングに引張力特性を与える物質を基板上に同時に付着させ、それを酸化して薄膜コーティングを形成し、その形成の間、コーティング中の応力をモニター1 モニターされた応力に応答して前記物質の相対付着量を調整し、コーティング中の応力を制御することを含む基板上にコーティングを形成する物理装着法、及びその装置【効果】 この方法は 太陽電池の保護ガラスカバー、従って劣化しやすい装着剤の使用を排除し、それに代る薄膜カバーを形成でき、太陽電池光学デテクターなどの保護光学カバーの形成に有用である。

請求項（抜粋）：

基板上にコーティングを形成する物理蒸着法であって、コーティングに圧縮力特性を与える少くとも1つの物質及びコーティングに引張力特性を与える少くとも1つの物質から選ばれる少くとも2種の物質を基板上に同時に付着させ、酸化してその上に薄膜コーティングを形成し;その形成の間、コーティング中の応力をモニターし;モニターされた応力に応答して前記物質の相対付着量を調整してコーティング中の応力を制御することを含む方法。

IPC (2件)：

H01L 31/04 ,  C23C 14/24

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-162788
  
• 特開昭63-273205
  
• 特開昭64-000265
  
• 特開昭61-015379