特許

J-GLOBAL ID：200903053547358181

静電アクチュエ-タ、インクジェットヘッド、シリコン基板、エッチング用マスク、シリコン基板の製造方法

発明者： 丸山 博之 ,  藤井 正寛 ,  石川 博之 ,  野島 重男
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009159
公開番号（公開出願番号）：特開平11-285275
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 小さいサイズの静電アクチュエータ、特にインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】 インクジェットヘッドは、(110)平面に連続した複数の平行四辺形を重ね合わせた多角形の形状で開口し、配線パターンが配置される開口部と、(110)平面に肉薄に設けられ、配線パターンに導通し、静電気によって変位する振動板と、を有する(110)シリコン基板と、振動板に対向して配置され、開口部に配置された配線パターンに導通する対向電極と、配線パターンに電圧を印加して、振動板と対向電極との間に静電気を発生させ、振動板を変位させる駆動手段と、振動板と対向電極との間を気密封止して、振動板の変位により圧力変動するインク室を設ける封止部材と、インク室に連通し、インク室の圧力変動により、インク室に蓄積されたインクの液滴を吐出するインクノズルとを備える。

請求項（抜粋）：

(110)平面に連続した複数の平行四辺形を重ね合わせた多角形の形状で開口し、配線パターンが配置される開口部と、(110)平面に肉薄に設けられ、前記配線パターンに導通し、静電気によって変位する振動板と、を有する(110)シリコン基板と、前記振動板に対向して配置され、前記開口部に配置された配線パターンに導通する対向電極と、前記配線パターンから前記振動板と前記対向電極とに電圧を印加して前記振動板を変位させる駆動手段と、を備えることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (5件)：

H02N 1/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

H02N 1/00 ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 21/306 B