精密テーブル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045341
公開番号（公開出願番号）：特開平5-245733
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【目的】精密位置決めを必要とする精密テーブルにおいて、テーブル停止時の角度エラーを補正できる精密テーブルを提供することを目的とする。【構成】可動テーブル1に圧電素子7を設け、可動テーブル1の姿勢を測定して、その結果をフィードバックすることにより、可動テーブルの静止時に生じる角度エラーを防止する。

請求項（抜粋）：

固定テーブルと、可動テーブルと、前記可動テーブルを送る駆動手段と、前記可動テーブルを案内するため前記固定テーブル上に設けられた案内部と、前記可動テーブルの姿勢を計測する圧電素子と、この計測値をフィードバックして前記可動テーブルと真直度を補正する補正手段とを備えた精密テーブル。

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