特許
J-GLOBAL ID:200903053557844696

研磨剤の再利用方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大野 精市
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-007346
公開番号(公開出願番号):特開2003-211356
出願日: 2002年01月16日
公開日(公表日): 2003年07月29日
要約:
【要約】【課題】 酸化セリウムなどの希土類金属の酸化物を主成分とする使用済み研磨剤を、様々な用途に応じた希土類金属の化合物として再利用することが可能となる、研磨剤の再利用方法を提供する。【解決手段】 希土類酸化物を含む使用済み研磨剤に、塩酸および過酸化水素を添加して加熱することにより得られる溶液から希土類金属の化合物を回収することを特徴とする研磨剤の再利用方法。
請求項(抜粋):
希土類金属の酸化物を含む使用済み研磨剤に、塩酸および過酸化水素を添加して加熱することにより得られる溶液から希土類金属の化合物を回収することを特徴とする研磨剤の再利用方法。
Fターム (2件):
3C047FF08 ,  3C047GG15
引用特許:
審査官引用 (7件)
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