特許

J-GLOBAL ID：200903053565077769

シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法

発明者： 崎久保 邦彦 ,  木村 道男 ,  佐々木 泰実
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-166282
公開番号（公開出願番号）：特開平9-020586
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、内側層を従来レベルに比し高純度として、シリコン単結晶中に取込まれる金属不純物がこれまで以上に減少できるようにした石英ガラスルツボを得ようとするものである。【構成】ガス透過性の内側部材の外周にガス通路を設けて保持体を固定した型を回転しながらこの型内に石英微細粒子を供給して、型内周に石英充填層を形成し、この石英充填層を内側から加熱して溶融ないし半溶融し、その後これを冷却してから取出すことからなる石英ガラスルツボの製造方法において、石英充填層の加熱溶融開始とともに前記ガス通路に水素ガスおよび/またはヘリウムガスを所定時間供給して、石英充填層に前記ガスを外側から所定時間吹き込んで、その後前記ガス通路を通し吸引して石英充填層を減圧し、さらにこの石英充填層の内側から加熱して溶融することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガス透過性の内側部材の外周にガス通路を設けて保持体を固定した型を回転しながらこの型内に石英微細粒子を供給して、型内周に石英充填層を形成し、この石英充填層を内側から加熱して溶融ないし半溶融し、その後これを冷却してから取出すことからなる石英ガラスルツボの製造方法において、石英充填層の加熱溶融開始とともに前記ガス通路に水素ガスおよび/またはヘリウムガスを所定時間供給して、石英充填層に前記ガスを外側から所定時間吹き込んで、その後前記ガス通路を通し吸引して石英充填層を減圧し、さらにこの石英充填層の内側から加熱して溶融することを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法。

IPC (3件)：

C30B 15/10 ,  C03B 20/00 ,  C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/10 ,  C03B 20/00 ,  C30B 29/06 502 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 融解石英るつぼ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-296431   出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ