特許
J-GLOBAL ID：200903053566509018
表面検査方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-066616
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281593
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 表面検査装置の検出部の配置方向を効率的に設計し、表面欠陥を高感度で検出することを可能とする。【効果】 冷延鋼板Sを棒状光源10から垂直下方に照射すると共に、照射方向に対して角度Θで各受光端面の光軸を設定した光ファイバ束11を介して、ラインカメラ12を鋼板Sの幅方向に走査しながら受光し、その受光信号を画像処理装置18で処理することにより鋼板Sの表面欠陥を検出するに際し、光ファイバ束11の受光角度Θを、該鋼板Sの微細形状データから、表面欠陥に起因する表面の傾斜角度の分布を予め求め、その傾斜角度分布の特異性に基づいて決定する。
請求項（抜粋）：
検査対象表面からの反射波を検出し、その反射波から検出対象である表面欠陥を抽出する表面検査方法において、検査対象表面の微細形状データから、表面欠陥に起因する表面の傾斜角度の分布を予め求め、その傾斜角度分布の特異性に基づいて、検査対象表面からの反射波の検出方向を決定することを特徴とする表面検査方法。
IPC (2件)：
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