特許
J-GLOBAL ID：200903053567211799
ウエハの位置合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-127774
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293772
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ中心の位置合わせ及び周方向の位置合わせを簡単に行うことのできる装置、及びこれらの位置合わせを複数枚のウエハに対して一括して行うことのできる装置を提供すること。【解決手段】 末広がりのテーパ部例えばテーパピン4がウエハの周縁に沿って配置された複数段の載置台3と、これら載置台3に夫々対して設けられ、テーパピン4を結ぶ円の中心のまわりに回転すると共に、この円よりも内方側に位置する複数段のターンテーブル5とを備えており、載置台3がターンテーブル5に対して相対的に昇降できるようになっている。ウエハWが移載アーム10aからテーパピン4に受け渡されるとウエハWの周縁がテーパピン4の内周面に当接して中心位置合わせが行われ、次いでターンテーブル5がウエハWを受け取って周方向の位置合わせが行われる。
請求項（抜粋）：
末広がりのテ-パ部がウエハの周縁に沿って設けられ、ウエハの周縁がテ-パ部のテ-パ面で規制されてウエハ中心の位置合わせが行われるように構成された中心位置合わせ用の載置部と、前記テ-パ部を結ぶ円の中心部のまわりに回転すると共にこの円よりも内方側に位置する回転載置部と、前記回転載置部に保持されたウエハの周縁部の位置合わせ用切り欠き部を検出する検出部と、この検出部からの検出信号に基づいて前記回転載置部の回転量を制御してウエハの周方向の位置合わせを行う制御部と、を備え、前記位置合わせ用の載置部は、前記回転載置部との間でウエハの受け渡しができるように当該回転載置部に対して相対的に昇降可能に構成されたことを特徴とするウエハの位置合わせ装置。
FI (4件)：
H01L 21/68 G
, H01L 21/68 A
, H01L 21/68 M
, H01L 21/68 N
