特許
J-GLOBAL ID:200903053572844570
圧電アクチュエ-タ駆動装置の校正方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石戸 久子 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-007483
公開番号(公開出願番号):特開2000-214929
出願日: 2000年01月17日
公開日(公表日): 2000年08月04日
要約:
【要約】【課題】 アクチュエータの経路が周囲の環境条件及び圧電性の不安定性に左右されない圧電アクチュエータ駆動装置の校正方法を提供する。【解決手段】 制御電子回路、圧電アクチュエータ及び少なくとも1つのリミットストップからなる圧電アクチュエータ駆動装置の校正方法は、制御量及び該制御量に対応する制御位置の自動的検出を、リミットストップ(9)における衝突時点t1、t2を決定することによって行い、そのためにアクチュエータ出力部(4)がリミットストップ(9)に突き当たるときの圧電スタック(3)の電荷の変化を制御電子回路により測定、記録することを特徴とする。
請求項(抜粋):
制御電子回路、圧電アクチュエータ及び少なくとも1つのリミットストップからなる圧電アクチュエータ駆動装置の校正方法であって、制御量及び該制御量に関連付けられた制御位置の自動的検出を、リミットストップ(9)における衝突時点t1、t2を決定することによって行い、そのためにアクチュエータ出力部(4)がリミットストップ(9)に突き当たるときの圧電スタック(3)の電荷の変化を制御電子回路により測定、記録することを特徴とする圧電アクチュエータ駆動装置の校正方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G05D 3/10 G
, H01L 41/08 C
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