物理蒸着装置の防着部品

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-180739
公開番号（公開出願番号）：特開平9-316643
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】物理蒸着装置を使用してCD-ROM、CD-RまたはCD-E基板に金属、特に貴金属物理蒸着膜を形成するに際し、物理蒸着膜を付着させない個所に使用する防着部品、特にマスキング治具を提供する。【解決手段】マスキング治具2などの防着部品基体表面に、表面粗さは、JIS B 0601で規定される算術平均粗さ(以下、Raで示す):0.01〜1μm、厚さ:5〜100μm、融点:100〜450°Cのハンダ膜を形成し、このハンダ膜の上にハンダメッキしたCu線27またはハンダメッキしたCu箔テープ、Al箔テープおよび合成樹脂テープの内の1種以上を剥離可能に接着したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

防着部品基体の表面にハンダ膜を形成してなることを特徴とする物理蒸着装置の防着部品。

IPC (3件)：

C23C 14/56 , C23C 30/00 , G11B 5/85

FI (3件)：

C23C 14/56 J , C23C 30/00 A , G11B 5/85 A

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