特許
J-GLOBAL ID：200903053580386700
電子ビーム描画装置用の描画データ作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-246791
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097058
出願日： 1992年09月16日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】複数のCPUに各処理対象領域を割り当てて独立に並列処理を行って各矩形領域に図形を登録しても、図形欠落や図形のオーバーラップを防止して描画データ作成の高速化を図ることができる描画データ作成方法を提供することを目的とする。【構成】CPUにサブフィールド32を含む処理対象領域EA及び同領域EAに含まれる図形F10,F11を取り込み、重なりを除去して図形F22を生成する。処理対象領域EAの境界線を含む切断線L3,L4を発生し、図形F22を切断する。切断線L4の下方の図形を削除し、切断線L3,L4間に図形F37を生成する。図形F37の頂点から切断線L4に垂直に分割線を発生し、図形F38〜F40に分割する。図形F39,F40は一部が外部マージン上にありかつ内部マージンよりも内にあるためサブフィールド32の境界線で切断し、サブフィールド32に図形F39a,F40aを登録する。
請求項（抜粋）：
集積回路パターンを電子ビーム描画装置の電磁偏向で描画可能な矩形領域を基準とした多数の処理対象領域に分割し、各処理対象領域及び当該処理対象領域に含まれるマスクパターンの図形データを複数のCPUに割り当てて各処理対象領域について独立に図形処理を施した後、各矩形領域に図形を登録するようにした電子ビーム描画装置用の描画データ作成方法において、各矩形領域の境界線を基準として矩形領域の内部及び外部に所定幅のマージンを設定して外部マージンで囲まれる領域を処理対象領域とし、各処理対象領域の対向する上下一対の境界線をそれぞれ含む切断線対を発生させて切断線対間に存在する図形以外の図形を削除した後、切断線対間に存在する図形の各頂点から切断線対に垂直な分割線を発生させて当該図形を分割し、各分割図形が矩形領域に完全に包含されているとき、又は各分割図形が外部マージンよりも内にありかつ内部マージンを含んでそれよりも内にあるときには当該分割図形をその矩形領域に登録し、各分割図形の一部でも外部マージンを含んでそれよりも外にありかつ内部マージンを含んでそれよりも内にあるときには当該分割図形を矩形領域の境界線で切断した内部の図形をその矩形領域に登録し、更に、各分割図形が矩形領域の所定の隣接する境界線対に対応した外部マージンより内にありかつ内部マージンよりも外にあるときには当該分割図形をその矩形領域に登録するようにしたことを特徴とする電子ビーム描画装置用の描画データ作成方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G06F 15/16 390
, G06F 15/60 370
